高纯氮

　　高纯氮
　　一、物理性质
　　分子式：N2
　　性质：纯度大于99.999%。无色无臭无味无毒的惰性气体。相对密度ds（21.1℃，空气=1）0.967。气体密度1.153kg/m3（21.1℃，101.3kPa）；液体密度808.5kg/m3（-195.8℃,101.3kPa）。
　　相对分子质量 28.013
　　熔点 63.15K，-210℃，-346oF
　　沸点，195.6
　　纯化方法：主要有吸附法、变压吸附法、膜分离法等。在生产中，通常采用黑色钢瓶盛放氮气。
　　二、用途
　　在集成电路、半导体和电真空器件制造中用作保护气和运载气，化学气相淀积时的载气，液体扩散源的携带气，在高温扩散炉中用作器件的保护气。高纯氮在外延、光刻、清洗和蒸发等工序中，作为置换、干燥、贮存和输送用气体。显像管制造中要求氮气纯度为99.99%以上。在航天技术中，液氢加注系统必须先用高纯氮置换，再用高纯氦置换。
　　三、纯化方法
　　1、加氢除氧法
　　在催化剂作用下，普氮中残余氧和加入的氢发生化学反应生成水，其反应式：2H2+O2=2H2O，再通过后级干燥除去水份，而获得下列主要成份的高纯氮：N2≥99.999 %，O2≤5×10－6，H2≤1500×10－6，H2O≤10.7×10-6。制氮成本在0.5元/m3左右。
　　2、加氢除氧、除氢法
　　此法分三级，加氢除氧，除氢，除水，获得下列组成的高纯氮：N2≥99.999%，O2≤5×10-6，H2≤5×10-6，H2O≤10.7×10-6。制氮成本在0.6元/m3左右。