高纯氮
分子式: N2
性质:纯度大于99.999%。无色无臭无味无毒的惰性气体。相对密度ds(21.1℃,空气=1)0.967。气体密度1.153kg/m3(21.1℃,101.3kPa);液体密度808.5kg/m3(-195.8℃,101.3kPa)。
相对分子质量 28.013
熔点 63.15K,-210℃,-346oF
沸点,195.6
纯化方法:主要有吸附法、变压吸附法、膜分离法等。在生产中,通常采用黑色钢瓶盛放氮气。
用途
在集成电路、半导体和电真空器件制造中用作保护气和运载气,化学气相淀积时的载气,液体扩散源的携带气,在高温扩散炉中用作器件的保护气。高纯氮在外延、光刻、清洗和蒸发等工序中,作为置换、干燥、贮存和输送用气体。显像管制造中要求氮气纯度为99.99%以上。在航天技术中,液氢加注系统必须先用高纯氮置换,再用高纯氦置换。
消防应急措施
迅速撤离泄漏污染区人员至上风处,并进行隔离,严格限制出入。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器。不要直接接触泄漏物。尽可能切断泄漏源。防止气体在低凹处积聚,遇点火源着火爆炸。用排风机将漏出气送至空旷处。漏气容器要妥善处理,修复、检验后再用。用雾状水保持火场中容器冷却。可用雾状水喷淋加速液氮蒸发,但不可使用水枪射至液氮。如吸入高纯氮,感到呼吸困难,给输氧。如呼吸停止,立即进行人工呼吸。就医。